电子能量损失谱(EELS)

电子能量损失谱(EELS)是一种与透射电子显微镜(TEM)扫描透射电子显微镜(STEM)结合使用时提供纳米尺度元素信息的技术。入射电子的能量在通过样品时会改变(减少)。这种能量损失可以使用EELS来表征,以提供元素识别。与能量色散X射线光谱(EDS)相比,电子能量损失谱EELS提供了改进的信噪比,更好的空间分辨率(低至1 nm),更高的能量分辨率(EELS为<1 eV)和更高的对较低原子序数元素的灵敏度。对于某些元素,可以获得化学键信息。

电子能量损失谱 EELS理想用途

  • 元素识别和映射
  • 元素鉴定(斑点分析、线扫描、二维化学图)
  • 化学指纹识别(有限情况)

电子能量损失谱 EELS优势强项

  • 比 EDS 更多的信号采集
  • 在硅/碳/氧化/氮系统中特别有用
  • 1 nm 探头尺寸 (EDS ~1-3 nm)
  • 更高的能量分辨率,有时可以提供化学信息
  • 对低Z元素的灵敏度更高

电子能量损失谱 EELS缺点限制

  • 设置时间更长
  • 多元素检测有时需要多次设置
  • 背景和峰形很复杂
  • 对高 Z 元素的良好检测可能存在问题

EELS技术规格

  • 检测到的元素:B-U
  • 检测限:0.5%
  • 横向分辨率/探头尺寸:1 nm

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