核反应分析(NRA)

核反应分析(NRA) 用于测量薄膜中的低 Z 元素(例如碳、氮、氧和硼)。在核反应分析NRA分析过程中,初级弹丸与薄膜中的低Z原子核引起核反应,导致具有特定核反应特征的动能的粒子(即特定元素)喷射。

很少有实验室可以提供核反应分析NRA商业服务或与康派斯的经验深度和广度,准确的数据和人对人服务相匹配。

核反应分析NRA可用于定量测量薄膜中存在的B,C,N,O和Li的总浓度。与RBS相比,使用核反应分析NRA可以以低得多的浓度测量这些元素。通过与RBS结合使用进行核反应分析NRA,可以确定薄膜中轻元素的浓度。

NRA理想用途

  • 测量薄膜中低含量的B、C、N、O和Li

NRA优势强项

  • 无损成分分析
  • 定量无标准
  • 整晶圆分析(最大 300 mm)
  • 导体和绝缘体分析
  • 低阻态元件灵敏度

NRA缺点限制

  • 分析区域大(直径~1-2毫米)
  • 无深度分辨率
  • 每个元素都需要一个特定的弹丸,因此可能需要多次测量,具体取决于感兴趣的元素

NRA技术规格

  • 检测到的元素: C, N, O, B, Li
  • 检测限:0.5 – 2 at%
  • 深度分辨率:没有
  • 成像/映射:
  • 横向分辨率/探头尺寸:~1-2 mm

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