逸出气体分析EGA是一种监测样品在室温以上加热时产生的少量气体分子的方法。

该分析主要用于确定：

1. 逸出气体的组成
2. 逸出气体的浓度
3. 相对于加热温度的逸出曲线

这些信息对于质量控制、故障分析或建立制造过程协议至关重要。

在康派斯实验室，我们成功地将逸出气体分析用于各种样品，为不同行业提供解决方案，包括半导体，航空航天和国防，涂料和粘合剂，储能和电池以及医疗设备。

什么是逸出气体分析 （EGA）？

原则

当加热到室温以上时，气体分子从表面/固体/粉末中逸出。在逸出气体分析EGA方法中，抽空样品以尽量减少周围环境中的气体。当真空达到背景水平时，样品被加热，然后逸出的气体膨胀到质谱仪体积。使用铱涂层铱丝，将气体电离以促进使用四极杆质量分析仪进行质量分离。使用电子倍增器测量正离子电流，提供样品释放的每种气体的强度。

常见应用

半定量

• 比较研究：好样本与坏样本
• 密封电子元件的晶圆级失效分析
• 确认SS部件的特高压级清洁质量
• 特定温度下气体释放的比较研究
• 直接气体分析
• 气密设备中气密密封的释气
• 真空腔内吸气剂的功效
• 除气速率（摩尔/厘米2/秒）
• 除气后在腔中释放的气体（真空穿孔）

定性扫描

• 升温时进行大规模扫描
• 温度与质量与信号的三维绘图
• 比较扫描：好样品与坏样品

3-D表示显示不同质量相对于除气温度的质量释放信号。化学处理和未处理硅片之间的比较清楚地显示了清洁处理的效果。质量数 44 的释放量更高（例如，CO2）和质量28（例如，N2/CO）对于未经处理的样品进行观察。

EGA理想用途

• 调查固体和气体样品中的气体种类
• 根据温度分析气体释放
• 密封封装的失效分析
• 金属和清洁度研究的除气率

EGA优势强项

• 任何从1到200原子质量单位（amu）的气体物种都可以在超高真空（~10-9托尔）
• 灵活的取样夹具，可容纳各种类型的样品（固体、粉末和气体）
• 高加热范围：24°C 至 1000 °C，加热速率低至 0.01 °C/分钟

EGA缺点限制

• 中等检测限
• 与标准常规分析不同，大多数分析都是基于项目的

EGA技术规格

• 检测到的信号：使用四极杆质谱仪测量质量分辨正离子的离子电流
• 质量范围：1 至 200 原子质量单位 （amu）
• 检测限：~百万分之 1000 （ppm）

EGA相关资源

• 网络研讨会：气体分析和泄漏测试
• 博客：用于材料除气表征的逸出气体分析

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