逸出气体分析(EGA)

逸出气体分析EGA是一种监测样品在室温以上加热时产生的少量气体分子的方法。

该分析主要用于确定:

  1. 逸出气体的组成
  2. 逸出气体的浓度
  3. 相对于加热温度的逸出曲线

这些信息对于质量控制、故障分析或建立制造过程协议至关重要。

在康派斯实验室,我们成功地将逸出气体分析用于各种样品,为不同行业提供解决方案,包括半导体,航空航天和国防,涂料和粘合剂,储能和电池以及医疗设备。

什么是逸出气体分析 (EGA)?

原则

当加热到室温以上时,气体分子从表面/固体/粉末中逸出。在逸出气体分析EGA方法中,抽空样品以尽量减少周围环境中的气体。当真空达到背景水平时,样品被加热,然后逸出的气体膨胀到质谱仪体积。使用铱涂层铱丝,将气体电离以促进使用四极杆质量分析仪进行质量分离。使用电子倍增器测量正离子电流,提供样品释放的每种气体的强度。

常见应用

半定量

  • 比较研究:好样本坏样本
  • 密封电子元件的晶圆级失效分析
  • 确认SS部件的特高压级清洁质量
  • 特定温度下气体释放的比较研究
  • 直接气体分析
  • 气密设备中气密密封的释气
  • 真空腔内吸气剂的功效
  • 除气速率(摩尔/厘米2/秒)
  • 除气后在腔中释放的气体(真空穿孔)

定性扫描

  • 升温时进行大规模扫描
  • 温度质量信号的三维绘图
  • 比较扫描:好样品坏样品


3-D表示显示不同质量相对于除气温度的质量释放信号。化学处理和未处理硅片之间的比较清楚地显示了清洁处理的效果。质量数 44 的释放量更高(例如,CO2)和质量28(例如,N2/CO)对于未经处理的样品进行观察。

EGA理想用途

  • 调查固体和气体样品中的气体种类
  • 根据温度分析气体释放
  • 密封封装的失效分析
  • 金属和清洁度研究的除气率

EGA优势强项

  • 任何从1到200原子质量单位(amu)的气体物种都可以在超高真空(~10-9托尔)
  • 灵活的取样夹具,可容纳各种类型的样品(固体、粉末和气体)
  • 高加热范围:24°C 至 1000 °C,加热速率低至 0.01 °C/分钟

EGA缺点限制

  • 中等检测限
  • 与标准常规分析不同,大多数分析都是基于项目的

EGA技术规格

  • 检测到的信号:使用四极杆质谱仪测量质量分辨正离子的离子电流
  • 质量范围:1 至 200 原子质量单位 (amu)
  • 检测限:~百万分之 1000 (ppm)

EGA相关资源

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