能量色散X射线光谱（EDS）是一种化学分析方法，可以与扫描电子显微镜（SEM），透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）两种主要的基于电子束的技术相结合。

当能量色散X射线光谱EDS与这些成像工具结合使用时，可以从直径小至1纳米（STEM）的区域提供空间分辨的元素分析。在SEM中，分析体积较大，体积范围可能为0.1至3微米。电子束对样品的影响会产生X射线，这是样品上存在的元素的特征。能量色散X射线光谱EDS分析可用于确定单个点的元素组成，线扫描或绘制成像区域中元素的横向分布。

EDS理想用途

• 使用 SEM/TEM 成像的小区域的元素组成
• 缺陷识别/映射

EDS优势强项

• 快速“初探”成分分析
• 功能多样、价格低廉且广泛可用
• 某些样品的定量（平整、抛光、均质）

EDS缺点限制

• 通常，可以进行半定量分析
• 样品量必须与 SEM/TEM 兼容
• 样品必须与真空兼容（不适用于湿有机材料）
• 分析（和涂层）可能会限制后续的表面分析
• 许多元素峰重叠是可能的，需要仔细检查光谱

EDS技术规格

• 检测到的信号：特征性 X 射线
• 检测到的元素：B-U
• 检测限：0.1-1 at%
• 扫描电镜采样深度：0.1-3 μm
• STEM采样深度：~0.1微米（箔片厚度）
• 成像/映射和线扫描：是的
• 横向分辨率：STEM-EDS 为 1-2 nm，SEM EDS 为 ≥0.1 μm

EDS相关资源

• 网络研讨会：EDS 和 EELS
• 应用说明：高级显微镜
• 应用资料：通过 AC-STEM-EDS 定量超薄层

康派斯检测集团检测设备先进、技术能力全面。成像学（SEM/TEM/FIB/AFM）观察纳米级微观结构；光谱学（XRD/Raman/XPS/FTIR）分析晶体结构与化学态；色谱学（GC/LC/HPLC）与质谱学（MS/ICP-MS/GC-MS/LC-MS）联用，检测限达ppb级；理化学（TG-DSC/TMA/激光导热仪）测定热物理参数；功能测试评价材料实际性能。六大平台协同，为石墨、新能源、电子材料等行业提供从结构表征到性能验证的一站式解决方案。

您也可以致电400-9621-929与我们联系或填写下方表格，让专家工程师和您讨论具体的需求。