康派斯检测集团深耕半导体材料与器件分析领域近30年，依托成像学平台，在SEM设备上集成了EBIC检测模块，可同步采集EBIC与二次电子（SE）信号，为半导体故障分析提供互补的空间信息。横向分辨率可达20-500 nm，具体取决于SEM条件及样品特性。康派斯提供从平面视图（PV）到横截面（XS）的全方位EBIC检测服务，助力LED、VCSEL、边缘发射激光器等复杂异质外延结构的失效分析与器件表征。

电子束感应电流（EBIC）或电子束感生电流 是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，用于半导体器件。与阴极发光（CL）一样，该技术依赖于SEM的高能电子束产生电子-空穴对（EHP）来产生分析信号。电子束感应电流EBIC利用连接在设备p侧和n侧之间的灵敏皮安表来测量产生的电流或电子束感应电流EBIC，当电子束以平面视图（PV）或横截面（XS）扫描样品时流动。然后，电子束感应电流EBIC信号的强度对应于p-n结周围内置电场的强度。作为重组位点的缺陷显示出显着较低的EBIC信号。

通常，电子束感应电流EBIC和二次电子（SE）信号同时捕获，提供电子束感应电流EBIC的互补空间图以及地形和/或成分信息。电子束感应电流EBIC是一种非常有效的技术，可以在大面积（mm2）精度为 50-100 nm 的设备，用于进一步的根本原因故障分析（FA），例如平面视图 （PV）、横截面（XS） SEM 或扫描透射电子显微镜（STEM）。

此外，电子束感应电流可用于定量确定复杂异质外延结构中p-n结的垂直位置，例如发光二极管（LED），垂直腔面发射激光器（VCSEL）和边缘发射激光器中的结构。在某些情况下，少数载流子扩散长度的估计也可以从相同的定量XS-EBIC数据中计算出来。

电子束感应电流 EBIC理想用途

• 半导体故障分析 – 深度 FA 的缺陷定位
• 器件表征 – 结点位置和少数载流子扩散长度

电子束感应电流 EBIC优势强项

电子束感应电流（EBIC）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的半导体器件分析技术，通过高能电子束在样品中产生电子-空穴对，由p-n结内建电场分离并形成感应电流。该技术在大面积器件缺陷定位与结结构表征方面具备独特优势：

一、擅长查找大面积设备中隐藏的局部故障站点

EBIC能够在大面积器件中快速精确定位隐藏的局部故障点，包括外延缺陷、工艺污染或结构损伤等光学显微镜难以识别的异常。EBIC信号强度直接反映p-n结质量——完好区域信号正常，缺陷或损伤区域因复合中心或漏电流导致信号明显下降，清晰揭示故障位置。检测面积范围可达mm²量级，定位精度达50-100 nm。

二、确定横截面（XS）中的p-n结位置

结合横截面制样，EBIC可精确测定p-n结结深与耗尽区宽度。在横截面EBIC成像中，p-n结区域表现为衬度界面，直接反映内建电场分布。该功能可应用于结深测量、外延层厚度评估、实际器件结构与设计目标的匹配度验证，以及缺陷引起的p-n结畸变分析。

电子束感应电流 EBIC缺点限制

• 样品中必须存在p-n结
• 可接受的最大漏电流约为10uA，否则EBIC数据可能过于嘈杂，无法进行分析

电子束感应电流 EBIC技术规格

• 检测到的信号：电子束感应电流 （EBIC）
• 成像/映射：是
• 横向分辨率：通常在 20-500 nm 之间变化，具体取决于 SEM 条件和样品成分/拓扑结构

电子束感应电流（EBIC）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，主要用于半导体器件的分析。以下是关于EBIC技术的详细介绍：

电子束感应电流EBIC技术原理

EBIC技术依赖于SEM的高能电子束产生电子-空穴对（EHPs），利用连接在器件p-n结两端的灵敏皮安计测量在电子束扫描样品时产生的电流，即EBIC。EBIC信号的强度与p-n结周围内置电场的强度相对应，而作为复合点的缺陷会显示出较低的EBIC信号。

电子束感应电流EBIC的应用

EBIC技术通常与二次电子（SE）信号同步采集，在获取样品表面形貌信息的同时，提供EBIC的互补空间图，实现形貌观察与电学特性分析的联合表征。该技术在大面积器件失效分析及复杂异质外延结构表征方面具有以下典型应用：

一、大面积器件的失效分析

EBIC可在mm²面积范围内以50-100 nm的定位精度，对平面视图（PV）、横截面（XS）SEM及扫描透射电子显微镜（STEM）样品进行根本原因失效分析（FA），快速精确定位外延缺陷、工艺污染或结构损伤导致的隐蔽故障点，为失效分析提供精准切入点。

二、异质外延结构中p-n结垂直位置的定量测定

EBIC能够对发光二极管（LED）、垂直腔面发射激光器（VCSEL）、边缘发射激光器等复杂异质外延结构中的p-n结垂直位置进行定量确定。在横截面EBIC成像中，p-n结区域表现为衬度界面，可直接反映内建电场分布，为实际器件结构与设计目标的匹配度验证提供关键数据。

三、少数载流子扩散长度的估算

在部分应用场景下，可基于横截面EBIC定量数据计算少数载流子扩散长度的估计值，为器件性能评估及工艺优化提供参考依据。

电子束感应电流EBIC的限制

• 样品中必须存在p-n结。
• 可接受的最大漏电流约为10uA，否则EBIC数据可能过于嘈杂，无法进行分析。

电子束感应电流 EBIC相关资源

• 网络研讨会：SEM-EDS 研讨会
• 应用说明：高级显微镜

康派斯检测集团以六大技术平台支撑材料检测全链条服务。成像学平台含SEM、TEM、FIB、AFM、Cryo-SEM等，精准解析微观形貌；光谱学平台配备XPS、EDS、Raman、FTIR、CL等，实现成分与结构分析；色谱学-质谱学联用平台（GC-MS、LC-MS、ICP-MS）提供痕量物质检测；理化学平台（TG-DSC、TMA、激光导热仪）评价热物理性能；功能测试平台验证材料实际应用表现。CMA/CNAS双资质，数据精准，报告权威。

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