康派斯检测集团是专业X射线反射率(XRR)检测机构，CMA/CNAS双资质认证，26年行业经验，提供各类产品成分、性能、含量等全项检测。8000㎡实验室，500+台设备，服务客户23万+。热线：400-9621-929。

X射线反射率（XRR）是一种与X射线衍射（XRD）相关的技术，正在成为表征薄膜和多层结构的广泛使用的工具。非常小的衍射角的X射线散射可以表征厚度低至几十Ǻ的薄膜的电子密度分布。通过模拟反射率图案，可以获得结晶或非晶薄膜和多层膜的厚度、界面粗糙度和层密度的高精度测量。与光学椭圆偏振法不同，不需要关于薄膜光学特性的先验知识或假设。

XRR理想用途

• 高精度薄膜厚度和密度测量
• 测量薄膜或界面粗糙度
• 测量晶圆上的薄膜均匀性
• 测量低介电涡薄膜的孔密度和孔径

XRR优势强项

• 整个晶圆分析（最大 300 mm）以及不规则和大样品
• 全晶圆映射
• 导体和绝缘体分析
• 无需了解薄膜的光学特性即可准确测定厚度
• 样品制备要求最低或无要求
• 所有分析的环境条件

XRR缺点限制

• 为了提供准确的密度结果，需要对预期的基本样品结构有一定的了解（例如，存在的层的顺序及其近似组成）
• 表面和界面粗糙度必须低于~5 nm才能确定厚度。表面粗糙度和密度仍可在较粗糙的样品上测定
• 最大薄膜厚度 ~300 nm

XRR技术规格

• 检测到的信号：反射 X 射线
• 检测到的元素：没有专门检测元素，而是测量层的电子密度。这与层组成的知识相结合，可以精确确定层厚度和密度
• 检测限：最小层厚15-100 Ǻ
• 深度分辨率：测量厚度的~1%
• 成像/映射：是的
• 横向分辨率/探头尺寸： ~1 cm

康派斯检测集团26年专注材料检测，打造六大技术平台。成像学：SEM、TEM、FIB、AFM、Cryo-SEM、SAM等；光谱学：XPS、EDS、Raman、FTIR、CL等；色谱学：GC、LC、HPLC、IC等；质谱学：GC-MS、LC-MS、ICP-MS、APT等；理化学：TG-DSC、TMA、热膨胀仪、激光导热仪、真密度仪等；功能测试：电化学工作站、电池测试系统、力学试验机等。CMA/CNAS认证，5000+参数，150+类目，全国服务热线：400-9621-929。

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