康派斯检测集团深耕离子束分析领域近30年，具备CMA/CNAS双重资质认证，配备先进的离子束分析系统与专业技术团队。康派斯已构建成像学—光谱学—质谱学—理化学—功能测试五大技术平台，NRA与RBS、PIXE等技术相结合，可实现对薄膜材料从轻元素定量到重元素分析的完整表征。康派斯NRA服务覆盖半导体薄膜、功能涂层、光学镀膜、新能源材料等领域，广泛应用于薄膜轻元素定量分析、掺杂浓度测定、表面污染物识别等场景。

核反应分析（NRA） 用于测量薄膜中的低 Z 元素（例如碳、氮、氧和硼）。在核反应分析NRA分析过程中，初级弹丸与薄膜中的低Z原子核引起核反应，导致具有特定核反应特征的动能的粒子（即特定元素）喷射。

很少有实验室可以提供核反应分析NRA商业服务或与康派斯的经验深度和广度，准确的数据和人对人服务相匹配。

核反应分析NRA可用于定量测量薄膜中存在的B，C，N，O和Li的总浓度。与RBS相比，使用核反应分析NRA可以以低得多的浓度测量这些元素。通过与RBS结合使用进行核反应分析NRA，可以确定薄膜中轻元素的浓度。

NRA理想用途

• 测量薄膜中低含量的B、C、N、O和Li

NRA优势强项

• 无损成分分析
• 定量无标准
• 整晶圆分析（最大 300 mm）
• 导体和绝缘体分析
• 低阻态元件灵敏度

NRA缺点限制

• 分析区域大（直径~1-2毫米）
• 无深度分辨率
• 每个元素都需要一个特定的弹丸，因此可能需要多次测量，具体取决于感兴趣的元素

NRA技术规格

• 检测到的元素： C， N， O， B， Li
• 检测限：0.5 – 2 at%
• 深度分辨率：没有
• 成像/映射：不
• 横向分辨率/探头尺寸：~1-2 mm

相关内容联系

• 核反应分析(NRA)核心页面
• 卢瑟福背散射光谱法(RBS)
• 粒子诱导的X射线发射(PIXE)

康派斯检测集团具有CMA/CNAS双资质认证，是权威第三方半导体检测机构，具备晶圆级测试能力，覆盖成像学、光谱学、质谱学、理化学、功能测试五大技术平台。提供SEM/TEM形貌分析、XPS成分分析、电学性能测试等服务，数据精准，周期可控。26年技术积淀，8000㎡实验室，助力芯片企业质量管控与研发创新。

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