椭圆偏振网络研讨会

椭圆偏振光谱法(SE) 是一种强大的分析工具,用于表征许多材料中的薄膜,包括半导体、介电薄膜、金属和聚合物。SE是一种非接触式、非破坏性光学技术,可测量反射光或透射光在与样品相互作用后的偏振变化。这种偏振变化与材料性能有关。 椭圆偏振法主要用于测量薄膜厚度、折射率 (n) 和消光系数 (k),但也可用于研究影响光偏振的其他特性,例如粗糙度、光学各向

阅读:128011+ 时间:2023-04-11 源于:69 作者:ccpst 电话:400-9621-929

椭圆偏振光谱法(SE)是一种强大的分析工具,用于表征许多材料中的薄膜,包括半导体、介电薄膜、金属和聚合物。SE是一种非接触式、非破坏性光学技术,可测量反射光或透射光在与样品相互作用后的偏振变化。这种偏振变化与材料性能有关。

椭圆偏振法主要用于测量薄膜厚度、折射率 (n) 和消光系数 (k),但也可用于研究影响光偏振的其他特性,例如粗糙度、光学各向异性(双折射)、晶体性质、成分、光学带隙和热膨胀。为了确定这些参数,构建了一个描述样品光学参数的模型。然后,拟合未知参数以获得理论响应与实验数据之间的最佳匹配。测量精度极佳,厚度优于0.1nm,n和k优于0.001。

在本次网络研讨会中,我们将介绍:

  • 椭圆偏振仪的物理背景
  • 工作原理
  • 真实世界的例子
  • 优势和局限性

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